一、清洁工具及药剂

（1）    洁净室专用吸尘器

（2）    无尘室专用平推

（3）    做好保护的洁净的人字梯、短伸缩杆

（4）    洁净室用无尘布

（5）    去离子水、中性清洁剂

（6）    专用水桶

二、清洁要求

（1）   清洁洁净室室内墙壁使用洁净室用无尘布

（2）   用90%的去离子水为清洁用水

（3）   污渍清洗使用中性清洁剂

（4）   架空地板先吸尘再用无尘布清洗

三、清洁程序

（1）   更换好专用防静电服，戴好帽子、口罩，经风淋室通道进入洁净室

（2）   准备好清洁工具及用品并放置在规定区域开始清洁

（3）   用手清理地面大垃圾，从里往外依次清洁

（4）   由上向下使用无尘布清洁室内玻璃、墙面、货架

（5）   使用洁净尘推由里向外小心的进行地面推尘、保洁，地面有污渍、水渍用无尘布清洗干净

（6）   清洗回风洞

（7）   对于级别高的无尘室清洗，如果检测不合格，需再次按以上步骤重复清洗，主要注意边角及死角

（8）   所有项目清洁完毕，经检测合格后，地面从里往外打3M防静电蜡